박막 두께 측정(測定)
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작성일 22-11-07 16:53
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먼저 원리를 간단히 설명(explanation)하고, 필요한 公式(공식)을 유도한다. 이 것은 선명한 간섭신호를 얻는 수단으로서 지극히 우수한 방법인데, 이것을 형상막 두께의 측정(measurement)법의 기본이라 해도 좋다.
먼저 紹介할 방법은 이번 實驗에서 실시한 방법이다. 따라서 두께가 정이되기 위해서는 서로 평행한 2개의 면이 정이될 필요가 있다 막두께라는 것을 고려할 때 검토해야 할 요소는 다음과 같다. 이 방법에 여러 가지 해설이 있는데, 대표적으로 두가지 방법이 있다 여기에 대해 간단히 설명(explanation)하겠다.
① 박막의 불연속성이나 표면의 오목 볼록
② 박막 내부의 격자결함
③ 박막 내부의 불순물, 표면의 흡착분자
다중반사 간섭(MBI)법
그림 1.두 평행 평면판에서의 반복 반사
다중반사 간섭법은 피조간섭법의 일종으로 막두께의 대표적인 측정(measurement)법이다. 그림 1에 나타낸 바와 같이 2개의 평행한 평면 H1,H2에 수직으로 파장 λ(각 진동수 ω)의 단색광이 입사했을 때 H1,H2의 반사율, 투과율을 각각 r1,r2 및 t1,t2로 하고, 또 H1,H2사이의 거리를 d라 한다.
순서
레포트/공학기술
설명
,공학기술,레포트
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목적
진공증착법에 의해 제작된 박막의 두께를 MBI법(Multiful-Beam Interferometry)을 이용하여 측정(measurement)한다. 실제로, 우리들이 두께라 불리우는 것을 보통 측정(measurement)할 때의 과정을 고려하면 알 수 있는 바와 같이, 그것을 대부분의 경우, 평행으로 간주한 2개의 면 사이의 거리를 말하는 것이다. -박막두께측정 , 박막 두께 측정공학기술레포트 ,
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박막 두께 측정(測定)
-박막두께측정(測定)
다.
實驗 기구
수은 광원, 초록 필터, 스텝형성장치, 볼록렌즈, 버니어 유동 현미경, 측정(measurement) 박막
이 론
막 두께의 의미
막 두께라는 것은, 원자 또는 분자가 기판면에 수직의 방향으로 1-104개 정도의 자리수로 집적된 것이기 때문에, 그 방향만을 고려하면, 원자 1개의 거동이 박막의 형태에 影響을 미친다고 해도 좋고, 따라서 그 방향에 상대하여는 미크로 한 구조를 지닌 것이다. 입사광(A0eiwt가 H1에 수직으로 입사하는 것으로 한…(drop)
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